发展历程
发展历程
发展历程
2011年12月
中物院微系统与太赫兹研究中心成立,原名太赫兹科学技术研究中心,是院首批战略研究中心。
2013年
加入微系统和微纳工艺方向
2014年
更名为中物院微系统与太赫兹研究中心。
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