中心简介
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中心简介

中国工程物理研究院微系统与太赫兹研究中心(Microsystem & Terahertz Research Center of CAEP)(以下简称“微太中心”),成立于2011年,是面向国内外开放的应用基础、关键技术和应用技术科研平台。微太中心是中国兵工学会太赫兹应用技术专委会的主任委员单位,并公开出版发行科技核心期刊《太赫兹科学与电子信息学报》。

中心拥有由国家级专家、省部级专家等组成的专家队伍,下设8个科研室和2个管理部门,现有固定人员近200人,其中近半具有博士学位,海外归国人员近20名,另有流动人员(访问学者、博士后、研究生等)10余人;团队包括微系统设计与集成、固态高压微系统、量子与光电微系统、太赫兹通信和雷达、太赫兹模块、太赫兹物理和微纳工艺研究等方向。

中心建有覆盖中心各学科方向的先进科研实验条件,包括:拥有近7000㎡的微纳工艺洁净实验室,具备6英寸硅基和化合物芯片制造、先进电子封装和三维异构集成能力;半导体参数测试、高低温环境试验、MEMS高频振动与模态分析、超声探测、数字模拟和高压电路测试能力;覆盖毫米波到太赫兹频段的先进表征测试条件;太赫兹时域光谱、傅里叶光谱、拉曼光谱测试能力;高压功率芯片级、器件级测试和部分环境可靠性测试评估能力;在量子认证和光电探测等方向具备较完整的平台实验、技术研发和模块研制能力。


2011

成立

200余人

科研团队

7000

洁净实验室

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