组织架构 -

组织架构

科技发展部

负责中心科技规划、项目发展、项目组织实施；负责中心技术成果管理和转化。

联系方式：028-65726070

综合管理部

负责中心人力资源管理、能力建设管理、信息化管理、职业健康与安全管理、设备管理、科研保障管理、行政管理以及质量管理，统筹党建及文化建设工作。

联系方式：028-65726050

微系统技术研究室（MT01室）

开展集成微系统设计与集成技术、特种效应及数值模拟技术、抗辐射集成电路设计技术、固态传感与探测技术、压电微执行器技术、集成微系统物理和新技术研究。

联系方式：028-65726013

微纳工艺平台实验室（MT02室）

开展化合物半导体工艺技术、MEMS/NEMS工艺技术、三维异构集成工艺技术研究；负责微纳工艺平台运行与维护。

联系方式：028-65726023

太赫兹通信与雷达技术研究室（MT03室）

开展太赫兹通信、雷达及成像应用技术研究，开展太赫兹集成电路、信道、模块及相关技术研究。

联系方式：028-65726033

太赫兹物理研究室（MT05室）

开展太赫兹半导体物理、半导体器件物理与技术、太赫兹与物质相互作用、太赫兹新原理与新技术研究。

联系方式：028-65726023

高压微系统技术研究室（MT07室）

开展固态高压芯片设计技术、固态高压模块技术、高压微系统设计与集成封装技术研究。

联系方式：028-65726092

量子与光电融合微系统技术研究室（MT08室）

开展量子认证技术、量子传感技术、微纳光电器件、光电融合微系统集成技术研究。

联系方式：028-65726092

科研室简介

科技发展部

负责中心科技规划、项目发展、项目组织实施；负责中心技术成果管理和转化。

综合管理部

微系统技术研究室
（MT01室）

微纳工艺平台实验室
（MT02室）

开展化合物半导体工艺技术、MEMS/NEMS工艺技术、三维异构集成工艺技术研究；负责微纳工艺平台运行与维护。

太赫兹通信与雷达技术研究室
（MT03室）

开展太赫兹通信、雷达与成像应用技术研究，开展太赫兹集成电路、信道、模块及相关技术研究。

太赫兹物理研究室
（MT05室）

开展太赫兹半导体物理、半导体器件物理与技术、太赫兹与物质相互作用、太赫兹新原理与新技术研究。

高压微系统技术研究室
（MT07室）

开展固态高压芯片设计技术、固态高压模块技术、高压微系统设计与集成封装技术研究

量子与光电融合微系统技术研究室
（MT08室）

开展量子认证技术、量子传感技术、微纳光电器件、光电融合微系统集成技术研究。

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